据合肥日报报道，国内首个专用于量子芯片生产的MLLAS-100激光退火仪（简称“激光退火仪”）已研制成功。

该激光退火仪可解决量子芯片位数增加时的工艺不稳定因素，像“手术刀”一样精准剔除量子芯片中的“瑕疵”，增强量子芯片在向多比特扩展时的性能，从而进一步提升量子芯片的良品率。报道称，该设备由合肥本源量子完全自主研发，可达到百纳米级超高定位精度，对量子芯片中单个量子比特进行局域激光退火，从而定向控制修饰量子比特的频率参数，解决多比特扩展中比特频率拥挤的问题，助力量子芯片向多位数扩展。据中国科学技术大学郭国平教授表示，量子计算机是具有重要战略价值的国之重器。代表量子计算机能力水平的一个重要参数是它的量子比特位数，量子比特位数越高，其计算能力越强。

安徽省量子计算工程研究中心副主任贾志龙博士介绍，该激光退火仪拥有正向和负向两种激光退火方式，可以在生产过程中灵活调节多比特超导量子芯片中量子比特的关键参数。同时，该设备还可用于半导体集成电路芯片、材料表面局域改性处理等领域，目前已在国内第一条量子芯片生产线上投入使用。据悉，本源量子是中国第一家量子计算公司，拥有国产首个工程化超导量子计算机，一直致力于超导与硅基半导体两条产线工艺的量子计算芯片的研发，目前已建设全国第一条量子芯片生产线，发布国内首个量子芯片设计工业软件“Q—EDA”本源坤元，进一步实现我国量子芯片的自主研发及产业化，助力我国在全球新一轮量子计算竞争中抢占先机。

内容来源：半导体行业圈